蓄熱式燃焼炉RTO：有機廃ガスは蓄熱セラミックによって予熱された後、バーナーによって750℃以上に加熱され、燃焼室内で二酸化炭素と水に酸化分解され、熱を放出する。熱は蓄熱セラミックに蓄えられ、煙突に排出される。普通の蓄熱セラミックの熱回収効率は最大95％以上、理論上の入口と出口の温度差は通常20℃〜40℃である。
したがって、通常の運転では、バーナーで補った熱で処理システムを20℃から40℃に維持し、システムの熱収支を達成することができる。酢酸エチルを例にとると、発熱量は5698kcal/kgで、システムの自立燃焼濃度の理論値は約2290mg/m3である。理論的には、廃ガスが自立燃焼濃度に達したときに、有機廃ガスの酸化分解熱は、システムの熱収支を維持するのに十分であり、その時点でRTOシステムは天然ガスを消費しない。
現在、廃ガス処理プロセスで最も広く使用されているRTOは、3ベッド型RTO、ロータリーRTOであり、その処理効率は99％以上に達することができる。2ベッド型RTOは効率がやや低く、普通は低濃度の廃ガスに使用される。