触媒燃焼CO：触媒燃焼とは、熱交換器で予熱された有機廃ガスを、電気ヒーターやバーナーで触媒の着火温度(普通は300℃前後、着火温度は触媒によって多少異なる）まで加熱し、触媒の作用で有機成分を酸化分解して二酸化炭素と水にする仕組みである。有機廃ガスの処理効率は98％以上に達することができる。
低濃度の廃ガスについて、触媒燃焼は普通、活性炭吸着・脱着システムやローターシステムと組み合わせて使用されることが多い。やや高い濃度の廃ガスについて、熱交換器を予熱した後、触媒燃焼炉で直接処理することができる。
触媒燃焼は普通、塩素、硫黄、窒素などを含まない有機成分を処理するために使用される。塩素、硫黄、窒素を含む有機成分には不向きで、働きが失われる触媒被毒を引き起こしやすく、その結果、廃ガス処理効率が予想される要求を満たさなくなる。