製薬と化学工業のVOCs有機廃ガス主流末端処理プロセス：前処理システム＋蓄熱式焼却システム＋後処理システム、前処理システムは主に洗浄塔とミスト除去装置で構成され、主に廃ガスにおける無機酸性・無機アルカリ性廃ガス、粒子状物質及び水溶性有機廃ガスなどを除去する；蓄熱式焼却システムは主に主流となる箱型RTOシステムを使用され、風の大きさによって箱型の数量を選択し、VOCs有機廃ガスを徹底的に除去する；後処理システムは主に急冷塔と洗浄塔で構成され、主にRTO燃焼によって発生した二次汚染を除去する。